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Se realizó el pulido Witryna24 gru 2021 (CMP) de las obleas, lo que dio como resultado un espesor de capa de Al final de 1 µm. Figura 3. (a) Sección transversal esquemática y (b) vista superior de un único marco de unión F200R. Se unió una oblea con marcos a una oblea plana en el sistema ComBond aplicando una fuerza de unión de 60 kN y una temperatura de unión de 100°C o 150°C. El

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